一覽，日本SMC電氣比例閥要求

電氣比例閥 ITV
- 通過電信號按比例無控制空氣壓力。
- 靈敏度：0.2kPa（100kPa規格）。
- 直線型：±1％以內（F.S.）。
- 遲滯：0.5％以內（F.S.）。
- 通信：CC-Link, DeviceNet™, PROFIBUS DP, RS-232C。
電子式真空比例閥 ITV
- 通過電信號按比例無控制真空壓力。
- 通信：CC-Link, DeviceNet™, PROFIBUS DP, RS-232C。
電氣比例閥用控制器 IC
- 主要用于與沒有顯示功能的ITV0000系列組合。
- 將數字信號變換為模擬信號。
- 10bit并聯輸入（zui大）。
  可進行210=1024點的壓力設定。
- 4點預設輸出。
  20步編程。
對應5.0MPa的高壓電氣比例閥 ITVX
- 通過電信號按比例無控制空氣壓力。
- zui高供給壓力：5.0MPa
- 設定壓力范圍：0.01～3.0MPa
- zui大流量：3000L/min（ANR）
- 使用流體：空氣,N2,O2,Ar
- 接觸流體部分：使用氟類潤滑脂。
對應3.0MPa的高壓電氣比例閥 ITVH
- zui高供給壓力：3.0MPa。
- 設定壓力范圍：0.2～2.0MPa。
2.0MPa以下的空氣壓力可無控制。
- 穩定性：±1％F.S.以下。
- 消耗功率：3W以下。
- zui大流量：3,000L/min（ANR）。
- 接觸流體部分：使用氟類潤滑脂

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