日本SMC鋁制高真空L型閥詳細說明
流體
工作溫度
電導
運營壓力
輪緣
主閥：常閉
O形密封圈
注2）電磁閥
閥門類型
軸封類型
閥門類型

流體操作
溫度（℃）輪緣
雙重行動
操作壓力范圍
大氣壓力為1×10-5 Pa
惰性氣體在真空下
5至60°C（可選：5至150°C）
0.4至0.7MPaKF160
zui大800 l / s 31.5升/秒
注1）選件規格/組合
這個型號有指示器，
自動開關和K（DN）法蘭選項
但是高溫/加熱器選項不可用。
O形密封圈
大氣壓力為1×10-5 Pa
惰性氣體在真空下
1.3×10-9Pa·m3 / s以下*
1.3×10-9Pa·m3 / s以下*
5至60°C（可選：5至150°C）
0.4至0.6MPaKF100
操作壓力（Pa）

日本SMC鋁制高真空L型閥詳細說明
電導（l / s）注1）
法蘭式主要材料
表面處理導壓力（MPa）
試點港口的大小（kg）
型號XLA（V）-16 XLA（V）-25 XLA（V）-40
常閉（加壓打開，彈簧密封）
惰性氣體在真空下
5?60（高溫型：5?150）5至50
使用熱敏電阻進行簡單加熱。 閥體可以
根據加熱器加熱到大約100或120°C
磁鐵激活自動開關。 用2個自動開關，打開
并關閉位置被檢測到，并與1自動開關，無論是
打開或關閉的位置被檢測到。 自動開關適用于
只有普通的溫度（5至60°C）。
選項和閥門尺寸。 熱敏電阻的類型和數量
使用將取決于大小和設置溫度。 在里面
高溫規格的情況下，閥蓋組件是一個
耐熱結構。 這不適用于電磁鐵的情況閥門連接。
大氣壓力為1×10-6
注1）常溫下的值，不包括氣體滲透。
注2）請參閱22頁的“結構”的零件編號了解更改的零件。
數字表示相應的“施工”的零件編號。
注3）尺寸16和25的e部分（外部密封）不可更改。
在標準材料FKM的情況下：在常溫下為1.3×10-10，不包括氣體滲透
標準材料FKM：常溫下為1.3×10-11，不包括氣體滲透
本體：鋁合金，波紋管：不銹鋼316L，主要部分：不銹鋼，FKM（標準密封材料）
外部：陽氧化內部：原材料
XLAV-16,25,40,50：SYJ319，XLAV-63,80：SYJ519
注1）常溫下的值，不包括氣體滲透。
注2）請參閱14頁的“結構”的零件編號了解更改的零件。
數字表示相應的“施工”的零件編號
自動開關不適用于高溫規格
（溫度規格H0，H2，H3）。 標準導線長度為0.5米。
當需要3米時在零件編號的末尾添加“L”，1米時為“M”5米時為“Z”。