XYA-63高真空直通型閥，日本SMC

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥  XM/XY
注）對直通型無尺寸16的閥。	系列/CAD (L型/直通型) 動作方式 軸密封方式 閥形式 材質 法蘭尺寸 XMA/XYA  氣控 波紋管密封 單作用 (N.C.) 閥體： 　 SCS13 　 (相當SUS304)  波紋管： 　 SUS316L 16～80注） XMC/XYC  雙作用 XMD/XYD  波紋管 O型圈密封 單作用 (N.C.) 閥體： 　SCS13 　(相當SUS304) 波紋管： 　SUS316L 25～80 XMH/XYH  手動 波紋管密封 手動 閥體： 　SCS13 　 (相當SUS304) 波紋管： 　SUS316L 16～50注） 特長 采用鑄造一體化結構，無氣體滯留。 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

產品規格
電導（l / s）注1）
泄漏（Pa·m3
/ s）的
運行時間（s）
法蘭（閥門）尺寸
閥門類型
流體
工作溫度（°C）
操作壓力（Pa）
法蘭型
主要材料注3）
導壓力（MPa）
試點港口規模
主排氣閥
初始排氣閥
常閉（加壓打開，彈簧密封）[主要和初始排氣閥]
惰性氣體在真空下
5至60（高溫型：5至150）
大氣壓力為1 x 10-6
在環境溫度下為1.3×10 -10 {1×10 -10}，不包括氣體滲透
在環境溫度下為1.3×10-11 ，不包括氣體滲透
0.4至0.7 [主排氣門和初始排氣門]
（kg）注2）
注1）主排氣閥傳導性是尺寸相同的彎管分子流的閥。初始排氣閥是粘性的值
流。

XYA-63高真空直通型閥，日本SMC
初始排氣閥開度調整
操作前應調整初始排氣速率（帶駕駛員
端口S處于未加壓狀態）。
通過轉動調節螺母將初始排氣速率設置為零
順時針旋轉直至停止。 （不要使用工具。）
通過逆時針旋轉螺母來調整初始排氣速率。
調整螺母的數量（其螺距為1毫米）旋轉和初始
應參照上圖確認排氣導流
正確的。
x初始排氣閥（閥S）打開
當向導端口S施加壓力時，閥S被移除
從閥門S組件打開并打開，直到調整的開度
設置。
c主排氣閥（閥M）
當向導口M施加壓力時，閥M被移除
從車身座椅表面*打開。
v關閉初始排氣閥，主排氣閥
通過去除兩個閥的導端口S和M的壓力
回到他們的密封位置。
注2）（）中的數字表示CF（配合）配件的。
注3）在真空部分的密封材料滑動部分（初始排氣閥滑動部分）上涂覆真空脂[Y-VAC2]涂層。
閥體：SCS13（符合不銹鋼SUS304）波紋管：不銹鋼SUS316L
波紋管支架：不銹鋼SUS304。 FKM（標準密封材料）